Low Cost System Zepto

等离子设备 Zepto,用于工艺研发、清洗、活化、蚀刻
用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻
等离子设备 Zepto W6

2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 为手动型,配有 PC 和 PCCE 控制系统,主要用于以下领域:

  • 小批量生产
  • 分析 (REM, TEM)
  • 医疗技术
  • 灭菌
  • 研究和开发部门
  • 考古
  • 纺织技术
  • 塑料技术

请致电我们,我们乐于为您提供咨询。电话: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0

 

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基本设备

  • 根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同
  • 腔室容积:根据具体版本,分为 1.7 - 2.6 升
  • 供电电源: 230 V

气源

  • 针型阀
  • 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

  • 圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子
    (大约 ∅ 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm)
  • 圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子
    (大约 ∅ 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm)

装载件

  • 产品支架: 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

  • 单层或多层

控制系统

  • 手动型
  • PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
  • PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

  • Pirani

计时器

  • 数字型

发生器

频率: 40 kHz: 功率 0 - 100 W
13.56 MHz: 功率 0 - 50 W 

真空泵

  • 规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

其他选项

备件套件压力计腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器 Faraday Box等离子体聚合配件测试墨水、 氧气发生器慢速通风装置慢速抽吸装置维护/服务当地语言的文件现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。

Plasma-Laboranlage Zepto