Yocto III

等离子系统 Yocto III 主要应用于:

  • 活化
  • 清洗

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基本参数

  • 供电电压: 230 V

气体供应

  • 经过过滤器过滤的工艺气体
  • 流量阀(不可调节)
  • 经过过滤器过滤的通气气体

真空腔室

  • 带有玻璃盖的圆形硼硅玻璃 (UHP) l(直径约∅ 50 mm, 长度约 150 mm)

电极

  • 一组在真空腔室外包裹的电极

控制

  • 激发等离子的发生器
  • 2级功率调节器
  • 开始键
  • 电源开关

发生器

  • 频率: 100 kHz: 功率 0 - 30 W

真空泵

  • 集成于设备之内
  • 干式泵
  • 抽气速率: 0,75 m3/h