Tetra 2800

等离子设备 Tetra 2800(示例)
等离子设备 Tetra 2800(示例)

生产设备 Tetra 2800-LF-PC 具有 2,800 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化):

技术参数

开关柜:
宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

腔室:
∅ 1200 mm、深 2500 mm

腔室容积:
约 2800 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

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