低压等离子设备 Tetra 150 PC / PCCE

等离子设备 Tetra 150(示例)

Tetra 150 等离子系统能够以不同的形式进行整合,例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Tetra 150 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Tetra 150 等离子系统主要应用于以下领域:

  • 分析 (REM, TEM)
  • 考古
  • 汽车行业
  • 生物技术
  • 弹性体技术
  • 电子技术
  • 电子显微镜
  • 精密工程
  • 研究和开发
  • 半导体技术
  • 小批量生产
  • 塑料技术
  • 医疗技术
  • 微系统技术
  • 太阳能电池技术
  • 纺织技术

请致电我们,我们乐于为您提供咨询。电话: +49 (0) 7458 - 999 31-0

 

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基本设备

  • 根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同
  • 腔室容积:根据具体版本为 150 升
  • 供电电源: 230 V 或者 400 V / 3 相位

气源

  • 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

  • 矩形不锈钢件,配有铰链的门
    (约宽 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm)

装载件

  • 产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

  • 单层或多层
  • 具有气体喷淋的 RIE 电极

控制系统

  • PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
  • PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

  • Pirani
  • Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

  • 数字型

发生器

频率: 40 kHz: 功率 0 - 1000 W;0 - 1500 W;0 - 2500 W
13.56 MHz: 功率 0 - 300 W;0 - 600 W;0 - 1000 W
2.45 GHz: 功率 0 - 1200 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

  • 规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

其他选项

备件套件压力计腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器加热板温度显示器加热型腔室Faraday Box等离子体聚合配件测试墨水氧气发生器慢速通风装置慢速抽吸装置TEM样品架法兰维护/服务当地语言的文件现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。