PC 控制系统 / 软件(截图)

Full PC-控制系统

为了控制我们的 PC 设备,我们研发了一种软件,其符合等离子体技术的特殊要求

  • 需通过一台 PC 进行控制。
  • 控制系统集成于设备内部。
  • 操作系统 Windows XP / Vista/7
  • 压缩空气监控器
  • 用 10 个子程序便可以调整 100 个自动工艺流程(例如,用氧气清洗 10 分钟,然后用氢气进行还原)。
  • 可输入评论。
  • 以 Excel 文件和图表的形式保存工艺数据。
  • 网卡 - 可在网络计算机上自动导出数据。
  • 在 Windows 环境下操作程序。
  • 两种模式:
    手动操作: 通过对话框手动操作设备。
    自动操作: 自动运行事先编写好的工艺流程。
  • 参数:
    抽吸压力(直至工艺流程开始)
    最大抽吸时间
    气体质量流量(比例)
    工艺压力
    稳定时间
    高频功率
    高频的工艺时间
    吹扫时间
    通风时间
  • 错误限制,用于: 质量流量、工艺压力、高频功率。
  • 通过 PI/PID 控制器进行数字式压力控制,也就是说,不是为了对质量流量进行控制,而是为了真正的稳定压力。
  • 压力控制是实时进行的,并贯穿整个工艺时间。
  • 在实时模式下显示所有程序步骤。
  • 安全相关的设置,例如,出于安全原因锁定的控制元件,只要未打开腔室门,就不允许进行抽吸。
  • 接收器:将显示门开关、过热开关和真空开关的状态。
  • 输入批号和操作员。
  • 可按照工作小时数单独设置维护周期。
  • 可设置压力控制的敏感性。
  • 可对所有报警显示进行归档。
  • 详细的错误信息,例如,气体 12 的实际气体流量与额定值存在显著差异。
  • 也可以提供全屏模式的图表。
  • 只有输入了密码,才可以进行编程(生产安全)。
  • 在数据归档中,可随时查看所有保存的工艺流程,包括文件信息。
  • 可对转鼓的时间周期作出规定(例如,停止 60 秒,转动 60 秒,停止 30 秒)。
  • 气源: 可预设各个独立的质量流量控制器 (MFC's) 的额定值,并显示当前实际值。
  • 设置不受工艺流程限制,但是可能受到设备和客户原因的限制(气体类型、质量流量控制器、压力调节器、冷却水、蓄能器的位置和类型)。
  • 标准语言选择: 德语、英语、可选,可按照需要提供其他语言。
  • 信号塔(红色和绿色信号)。

可按照需要提供以下选项:

  • 如果要管理不同电极,则可以选择电极监控功能(例如,转鼓/层电极)。
  • 工艺流程结束时按照需要提供声音信号。
  • 可对蒸发器进行定时。
  • 可以控制温度显示。
  • 会显示当前冷却水温度。
  • 远程诊断
  • 通过标准打印机打印记录报告。打印机不包含在供货范围之内。
  • 可调整图表布局。
  • 直流偏置电源的监控器。
  • 条形码读取器
  • 射频发生器可以产生脉冲。
  • 温度指示器
  • PC 控制设备的强制性配置:
    - 本设备至少配备了 1 个 MFC。
    - 需要一个压力监控系统
    - 需要一个配有 PC 接口的发生器。