生产设备 Tetra-7500 具有 7500 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-7500-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 3000 mm、高 2000 mm、深 1000 mm

腔室:
宽 1500 mm、深 2000 mm、高 2500 mm

腔室容积:
约 7500 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
6 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用设备

Draht/Garn-Beschichtung/Reinigung/Aktivierung mit Plasma

Tetra-2-PC 型卷到卷等离子设备是专门针对使用卷到卷装置对纤维、纱线和电线涂层而设计的。

专用等离子设备 Tetra-6-PC,卷到卷

技术参数:

外壳:
宽 3491 mm、高 1000 mm、深 1278 mm

腔室:
长 1050 mm、∅ 90 mm

腔室容积:
约 6 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化:
卷到卷

Gefördert durch: Bundesministerium für Wirtschaft und Energie aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages

Tetra-15 等离子设备是专门针对以制备高纯度表面为目的的溅射(高真空型涂层技术)和清洗工艺而设计的。

专用等离子设备 Tetra-15-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

腔室:
宽 360 mm、高 150 mm、深 260 mm

腔室容积:
约 15 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Kurztaktanlage Tetra-30-LF-PC

短周期设备能够很好的集成于现有的生产线中。此外,全自动化短周期设备还能够排除一切可能的操作错误。

专用等离子设备 Tetra-30-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 800 mm、高 600 mm、深 500 mm

腔室:
宽 240 mm、高 150 mm、深 240 mm

气源:
1 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化:
本设备可集成于一条生产线中。

本设备可作为套件提供。

生产设备 Tetra-100 具有 100 升的真空容积,并配有 PC 控制系统和全自动门,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-100-LF-PC

 

技术参数:

 

开关柜:
宽 2000 mm、高 2200 mm、深 2000 mm

腔室:
宽 700 mm、高 200 mm、深 700 mm

腔室容积:
约 100 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化:
本设备具有一个抽拉门

Tetra-120-LF-PC

生产设备 Tetra-120 具有 120 升的真空容积,并配有 PC 控制系统和全自动门,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-120-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2150 mm、深 1000 mm

腔室:
宽 1200 mm、高 150 mm、深 700 mm

腔室容积:
约 120 升

气源:
4 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化:
本设备具有一个自动门

生产设备 Tetra-130 具有 130 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于对医疗组件进行清洗和涂层。

专用等离子设备 Tetra-130-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1800 mm、高 2100 mm、深 1300 mm

腔室:
宽 400 mm、高 400 mm、深 810 mm

腔室容积:
约 130 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道
(其中 1 个通过鼓泡器控制)
,1 个通过 2 路 2 通方向阀控制的气体通道单体

发生器:
1 件 (13.56 MHz)
(可选: 40 kHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

特性:
UHV-区配有涡轮泵

生产设备 Tetra-140 具有 140 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻、活化和等离子体聚合)。

专用等离子设备 Tetra-140-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2100 mm、深 650 mm

腔室:
宽 600 mm、高 400 mm、深 600 mm

腔室容积:
约 140 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-140 具有 140 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻、活化和等离子体聚合)。

专用等离子设备 Tetra-140-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1000 mm、高 1800 mm、深 1000 mm

腔室:
宽 1000 mm、高 100 mm、深 1400 mm

腔室容积:
约 140 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道,用于等离子聚合法的液态单体计量器

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-150 具有 150 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,主要用于纺织品涂层领域。

专用等离子设备 Tetra-150-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1000 mm、高 2100 mm、深 1000 mm

腔室:
宽 400 mm、高 600 mm、深 625 mm

腔室容积:
约 150 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或者 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化:
卷到卷,具有 400 mm 宽度和 300 mm 直径

生产设备 Tetra-185 具有 185 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,主要用于制造印刷电路板。

专用等离子设备 Tetra-185-LF-PC Desmearing(除污工艺)

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2100 mm、深 1000 mm

腔室:
宽 400 mm、高 665 mm、深 700 mm

腔室容积:
约 185 升

气源:
4 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

特性:

  • 各种除污工艺材料(钻孔壁清洗)
  • 表面清洗
  • 金属表面活化
  • 共 7 个插槽,适用于同时处理 7 个板件
  • 可在生产前预切割为 460 x 610 mm
Plasmacleaner Tetra 185
Die Produktionsanlage Tetra-185 mit ihren 185 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt bevorzugt bei der Leiterplattenherstellung zum Einsatz

Sonder-Plasmaanlage Tetra-185-PCB - Desmearing

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 1000 mm

Kammer: B 400 mm, H 665 mm, T 700 mm

Kammervolumen: ca. 185 Liter

Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (80 kHz)

Steuerung: Full PC-Steuerung

Eigenschaften:

  • Desmearing div. Materialien (Bohrlochwandreinigung)
  • Oberflächenreinigung
  • Aktivierung von metallischen Oberflächen
  • 7 Einschübe für 7 gleichzeitig zu behandelnde Platten der Maße max. 460 x 610 mm oder 14 Leiterplatten der Maße max. 230 x 305 mm
生产设备 Tetra-210 具有 210 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗和涂层)。

专用等离子设备 Tetra-210-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1560 mm、高 2350 mm、深 1860 mm

腔室:
宽 600 mm、高 600 mm、深 600 mm

腔室容积:
约 210 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件脉冲发生器
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Sonder-Plasmaanlage Tetra-216-LF-PC

Sonder-Plasmaanlage Tetra-216-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm

Kammer: B 600 mm, H 600 mm, T 620 mm

Kammervolumen: ca. 216 Liter

Gaszuführung: 5 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (je 80 kHz) 

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus 

生产设备 Tetra-240 具有 240 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗和涂层)。

专用等离子设备 Tetra-240-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 1700 mm、深 3200 mm

腔室:
宽 305 mm、高 300 mm、深 2600 mm

腔室容积:
约 240 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-260 具有 260 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-260-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 2500 mm、高 2200 mm、深 1000 mm

腔室:
宽 650 mm、高 500 mm、深 800 mm

腔室容积:
约 260 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
10 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Sonder-Plasmaanlage Tetra-330-LF-PC

Sonder-Plasmaanlage Tetra-330-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1200 mm, H 1800 mm, T 1800 mm

Kammer: B 530 mm, H 700 mm, T 900 mm

Kammervolumen: ca. 330 Liter

Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (je 80 kHz) 

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus 

Plasmaanlage Rolle zu Rolle

Tetra 375 Rolle/Rolle

Gehäuse mit Schaltschrank B 3150mm, H 2200mm, T 1800mm

Kammer: B 1500mm, H 1000mm, T 250mm

Gas: 3 X Gas 1 X Ozon

Generator 5000

Steuerung : PC- Steuerung

Rolle Rolle Anlage für zwei getrennte Rollen zur Unabhängigen Bearbeitung.

生产设备 Tetra-375 具有 375 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-375-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm

腔室:
宽 600 mm、高 360 mm、深 1900 mm

腔室容积:
约 375 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-400 具有 400 升的真空容积,并配有 PC 控制系统和全自动移门,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-400-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2100 mm、深 650 mm

腔室:
宽 915 mm、高 750 mm、深 725 mm

腔室容积:
约 400 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

自动化:
本设备具有一个自动移门

生产设备 Tetra-420 具有 420 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。此外,该设备还可用于 PCB 去污处理。

专用等离子设备 Tetra-420-LF-PC-PCB

技术参数:

开关柜:
宽 1600 mm、高 2100 mm、深 1200 mm

腔室:
宽 750 mm、高 800 mm、深 750 mm

腔室容积:
约 420 升

气源:
4 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
4 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用设备 Tetra-500 具有卷到卷系统和 500 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化,例如,膜)。

专用等离子设备 Tetra-500-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2100 mm、深 800 mm

腔室:
宽 1500 mm、高 1700 mm、深 200 mm

腔室容积:
约 500 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

部件支架:
2 个卷到卷系统

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Tetra-575-LF-PC

专用设备 Tetra-575 具有 575 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻、活化和涂层)。

专用等离子设备 Tetra-575-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm

腔室:
宽 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm

腔室容积:
约 575 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

部件支架:
22 层/(个)产品支架(可变型)

控制系统:
PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-600 具有 600 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2200 mm、深 1200 mm

腔室:
宽 810 mm、高 810 mm、深 925 mm

腔室容积:
约 600 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-600 具有 600 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC 版本 1

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室:
宽 1000 mm、高 1000 mm、深 600 mm

腔室容积:
约 600 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

自动化:
11 层/(个)产品支架

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-600-LF-PC 具有 600 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

生产设备 Tetra-600 具有 600 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC 版本 2

技术参数:

开关柜:
宽 1800 mm、高 1800 mm、深 800 mm

腔室:
宽 580 mm、高 730 mm、深 1000 mm
门配有 2 个观察窗

腔室容积:
约 600 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件,自动搭配

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-600 具有 600 升的真空容积,并配有 PC 控制系统和一个转鼓,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)

专用等离子设备 Tetra-600-LF-PC 版本 1,其配有转鼓

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室:
∅ 1100 mm、深 700 mm

腔室容积:
约 600 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

部件支架:
转鼓(共配有 4 个篮子,每个篮子的容量为 30 升)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra-800-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 1800 mm、深 800 mm

腔室:
宽 1250 mm、高 550 mm、深 1120 mm

腔室容积:
约 800 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Produktionsanlage Tetra 810
Die Produktionsanlage Tetra-810 mit ihre 810 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt zum Aktivieren von Carbonfasern / Composites zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-810-LF-PC 

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1200 mm, H 2200 mm, T 2000 mm

Kammer: B 900 mm, H 1100 mm, T 900 mm

Kammervolumen: ca. 810 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (80 kHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

生产设备 Tetra-850 具有 850 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、活化)。

专用等离子设备 Tetra-850-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1500 mm、高 2000 mm、深 800 mm

腔室:
宽 1300 mm、高 1800、深 400

腔室容积:
约 850 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-1200 具有 1200 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、活化)。

专用等离子设备 Tetra-1200-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm

腔室:
宽 600、高 1000 mm、深 2000 mm

腔室容积:
约 1200 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
3 件(分别为 40 kHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-1600 具有 1600 升的真空容积,可用于真空干燥。

专用真空设备 Tetra-1600

技术参数:

腔室:
宽 900、高 700 mm、深 2600 mm

腔室容积:
约 1600 升

生产设备 Tetra-2000 具有 2000 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、活化)。

专用等离子设备 Tetra-2000-RF-PC

技术参数:

腔室:
宽 1000、高 2000 mm、深 1000 mm

腔室容积:
约 2000 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (13.56 MHz)

部件支架:
最多可有 10 个产品支架

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-2400 具有 2400 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-2400-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室:
∅ 1100、深 2500 mm

腔室容积:
约 2400 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
4 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

部件支架:
转鼓(共配有 16 个篮子,每个篮子的容量为 30 升)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Tetra-2800-LF-PC

生产设备 Tetra-2800 具有 2800 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-2800-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm

腔室:
∅ 1200 mm、深 2500 mm

腔室容积:
约 2800 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
1 件 (40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Sonder-Plasmaanlage Tetra-3600

Sonder-Plasmaanlage Tetra-3600

Technische Daten:

Schaltschrank/Kammer: L 450 mm, H 210 mm, B 170 mm

Kammervolumen: ca. 3600 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanal über MFCs

Generator: 3 Stück (80 kHz) (5KW) Suaerstoffgenerator

Steuerung: Full PC-Steuerung (Windows)- Schwenkarm 

Schubladensystem: Ausziehbarer Warenträger

生产设备 Tetra-4400 具有 4400 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-4400-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1800 mm、高 1000 mm、深 800 mm

腔室:
长 1350 mm、深 1250 mm、高 2600 mm

腔室容积:
约 4,400 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
4 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

特性:
氧气发生器
鲁茨泵的等离子清洗源

生产设备 Tetra-5600 具有 5600 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-5600-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1800 mm、高 2200 mm、深 1800 mm

腔室:
宽 2250 mm、高 2450 mm、深 1000 mm

腔室容积:
约 5600 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
6 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

部件支架:
通过推车进行填料
(可选:专用的转鼓)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Sonder-Plasmaanlage Tetra-6000-AD-F

Technische Daten:

Kammer: B 1000 mm, T 2600 mm, H 2300 mm

Kann in den Fußboden eingelassen werden. Ermöglicht einfaches Be-und Entladen, da die Anlage mit einem Beladewagen befahren werden kann (es wird kein Stapler benötigt!).

Türen: können über Druckluftzylinder vollautomatisch geöffnet und geschossen werden

Schaltschrank: B 3000 mm, H 2000 mm, T 1000 mm

Kammervolumen: ca. 6000 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 4 Stück (je 80 kHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Sonder-Plasmaanlage Tetra-7000-LF-PC

生产设备 Tetra-7000 具有卷到卷系统和 7000 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻、活化和涂层)。

专用等离子设备 Tetra-7000-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 2400 mm、高 2300 mm、深 1000 mm

腔室:
宽 2400 mm、高 2100 mm、深 1400 mm

腔室容积:
约 7000 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
4 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-7300 具有 7300 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。

专用等离子设备 Tetra-7300-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2100 mm、深 1200 mm

腔室:
宽 1400 mm、高 2100 mm、深 2500 mm

腔室容积:
约 7300 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
3 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

专用等离子设备 Tetra 8000-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 2000 mm、高 1800 mm、深 1000 mm

腔室:
宽 1700 mm、深 2800 mm、高 1700 mm

腔室容积:
约 8000 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
4 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

生产设备 Tetra-12600 具有 12,600 升的真空容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、活化)。

专用等离子设备 Tetra-12 600-LF-PC

技术参数:

开关柜:
宽 1200 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室:
宽 2400 mm、高 2100 mm、深 2500 mm

腔室容积:
约 12 600 升

气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
6 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

部件支架:
通过推车进行填料

控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)