低压等离子设备(等离子清洗器) Femto

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等离子设备 Femto,用于工艺研发、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化、毫微微科学
配有门铰链的等离子系统 Femto,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - Diener 等离子设备
等离子设备 Femto、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统
等离子系统 Femto、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统
等离子设备 Femto、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统、毫微微科学
等离子系统 Femto,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - Diener 等离子设备
等离子设备 Femto、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统

Femto 等离子系统能够以不同的形式进行整合,例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与Femto 等离子系统一同使用的最常见的选装件。Femto 等离子系统主要应用于以下领域:

  • 分析
  • 考古
  • 汽车行业
  • 研究和开发部门
  • 半导体技术
  • 小批量生产
  • 塑料技术
  • 医疗技术
  • 微系统技术
  • 传感器
  • 灭菌
  • 纺织技术

请致电我们,我们乐于为您提供咨询。电话: +49 (0) 7458 - 999 31 - 0

 

基本设备

  • 根据具体组件/选装件,外壳会有所不同
  • 腔室容积:根据具体版本,分为 1.9 - 6 升
  • 供电电源: 台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

气源

  • 针型阀
  • 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

  • 圆形不锈钢件,配有盖子
    (大约 ∅ 100 mm, 长 278 mm 或者长 600 mm)
  • 矩形不锈钢件,配有铰链的门
    (约宽 103 x 深 285 x 高 103)
  • 配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门
    (大约 ∅ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm)
  • 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门
    (大约 ∅ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm)
  • 配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门
    (大约 ∅ 95 mm,长 280 mm 或者长 600 mm)

装载件

  • 产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

  • 单层或多层
  • RIE

控制系统

  • 半自动型
  • PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
  • PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

  • Pirani
  • Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

  • 数字型

发生器

频率: 40 kHz: 功率 0 - 100 W;0 - 1000 W
13.56 MHz;功率 0 - 50 W;0 - 300 W
12.45 GHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

  • 规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

其他选项

备件套件压力计腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器加热板温度显示器加热型腔室Faraday Box等离子体聚合配件测试墨水氧气发生器慢速通风装置慢速抽吸装置TEM样品架法兰维护/服务当地语言的文件现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。