Forschungsanlage Plasma System Bell Jar 35

Bell Jar 35 钟罩运行中
Bell Jar 35 研究设备

Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备,其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发、溅射、电子束蒸发、SEM(扫描电子显微镜)样品制备的金属涂层,也适用于传统的等离子体工艺。

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基本设备

  • 外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
  • 腔室容积:约 35 升
  • 供电电源: 230 V / 16 A

气源

  • 3 个质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

  • 硼硅玻璃材质的玻璃罩
    ∅ 315 mm x 高 500 mm

溅射源

  • 1 个溅射源 2" - 3" + 挡板
    (可为反应过程选配排烟管和进气口)

基材支架

  • ∅ 140 mm (可选择旋转型、基材加热器、基材冷却装置)
  • 可切换为等离子体预处理的电极(清洗、活化、蚀刻)

控制系统

  • PCCE 控制系统 (Microsoft Windows XPe)

压力测量

  • Pirani

发生器

频率: 40 kHz: 功率 0 - 500 W
13.56 MHz: 功率 0 - 300 W

直流偏置电源或单极性脉冲

最大功率 300 W
最大电压 600 V,直流电

发生器为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

  • 规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

其他选项

备件套件压力计腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器加热板温度显示器加热型腔室Faraday Box等离子体聚合配件测试墨水氧气发生器慢速通风装置慢速抽吸装置TEM样品架法兰维护/服务当地语言的文件现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。