配有全自动控制系统的 Tetra-30-LF。生产设计用途:清洗、活化、蚀刻

出租设备 Tetra-30-LF

具有 30 升腔室容积和全自动控制系统的小型设备 TETRA-30-LF 主要应用于清洗、蚀刻和活化领域的生产。

 

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 800 mm、深 650 mm

腔室:
宽 305 mm、高 300 mm、深 370 mm
(可选: 深 625 mm)

腔室容积:
约 34 升

气源:
2 个由针型阀控制的气体通道

发生器:
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

真空泵:
Leybold,型号 D 16 B (16 m3/h)

部件支架:
最多 6 个产品支架
(可选: 转鼓)

控制系统:
全自动,通过计时器控制工艺时间

选装件 / 配件