配有 PC 控制系统的 Tetra 30-LF-PC。生产设计用途:等离子清洗、等离子活化和等离子蚀刻

出租设备 TETRA-30-LF-PC - 提供短期出租

具有 30 升腔室容积和 PC 控制系统的小型设备 Tetra-30-LF-PC 主要应用于清洗、蚀刻和活化领域的生产。

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2 200 mm、深 850 mm

腔室:
宽 305 mm、高 300 mm、深 370 mm
(可选: 深 625 mm)

腔室容积:
约 34 升

气源:
3 个由 MFC 控制的气体通道

发生器:
40 kHz / 0-1000 W
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

部件支架:
最多 6 个产品支架
(可选: 转鼓)

控制系统:
Windows 环境下的 PC-控制系统 

选装件 / 配件