Tetra 系统的转鼓
Tetra 系统的六层产品支架
Tetra-100-LF 用于进行:清洗、活化、蚀刻

出租设备 Tetra-100-LF

具有 100 升腔室容积和全自动控制系统的生产设备 TETRA-100-LF 主要应用于清洗、蚀刻和活化领域的生产。

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室:
宽 400 mm、高 400 mm、深 625 mm

腔室容积:
约 100 升

气源:
2 个由针型阀控制的气体通道

发生器:
40 kHz / 0-2500 W
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

真空泵:
Leybold,型号 D 40 B (40 m

部件支架: 
最多 10 个产品支架
(可选: 转鼓)

控制系统:
全自动、通过计时器控制工艺时间

选装件 / 配件