Tetra-100-LF-PC 用于进行:清洗、活化、蚀刻
Tetra-系统的转鼓
Tetra 系统的六层产品支架

出租设备 TETRA-100-LF-PC - 提供短期出租

具有 100 升腔室容积和 PC 控制系统的生产设备 TETRA-100-LF-PC 主要应用于清洗、蚀刻和活化领域的生产。

技术参数:

开关柜:
宽 600 mm、高 2200 mm、深 800 mm

腔室:
宽 400 mm、高 400 mm、深 625 mm

腔室容积:
约 100 升

气源:
3 个由 MFCs 控制的气体通道

发生器:
40 kHz / 0-2500 W
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

真空泵:
Leybold,型号 D 40 B (40 m3/h)

部件支架:
最多 10 个产品支架
(可选: 转鼓)

控制系统:
PC-控制系统 (Windows)

选装件 / 配件