小型设备 Pico UHP:还适合用于清洗光学元件
Pico UHP 的玻璃接收器中的等离子体

出租设备 PICO UHP - 提供短期出租

具有四升腔室容积和半自动控制系统的小型设备PICO UHP主要应用于以下领域:

  • 小批量生产
  • 分析(REM, TEM)
  • 医疗技术
  • 研究和开发部门
  • 半导体技术
  • 塑料技术

UHP 表示超高纯度。该标志适用于我们的等离子设备的玻璃接收器,其可按照客户需要由硼硅玻璃或石英玻璃制成。仅以下设备具有 UHP 选装件:Femto、Pico 和 Nano。

会在微波设备中使用玻璃腔室,和/或需要一个超纯表面的时候会使用玻璃腔室。普通不锈钢或铝制腔室和等离子设备中的所有金属一样,能够以最小量对处理产品进行溅射。这对于大多数工艺而言并不重要,完全可以忽略不计。 从 UHP 设备中取出的铝制零部件均用 AL2O3 进行了涂层。该设备未配备不锈钢接收器,其适用于铬,镍和铁痕迹会产生干扰作用的应用用途。

技术参数:

开关柜:
宽 550 mm、高 330 mm、深 500 mm

腔室:
∅ 130 mm、长 300 mm
腔室开孔: ∅ 125 mm
材料:石英玻璃或者硼硅玻璃
腔室的前壁和后壁: 铝

腔室容积:
约 4 升

气源:
2 个由针型阀控制的气体通道

发生器:
40 kHz / 100 W, 无级可调
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

真空泵:
Leybold,型号 Trivac D 2.5B (2.5 m3/h)

部件支架:
1 个产品支架

控制系统:
半自动,通过计时器控制工艺时间

选装件 / 配件