配有半自动控制系统的小型设备 Nano:清洗、活化、蚀刻、涂层
配有全自动控制系统的小型设备,用于清洗、活化、蚀刻、涂层

出租设备 NANO - 提供短期出租

具有24 升腔室容积和半自动控制系统的小型设备NANO主要应用于以下领域:

  • 半导体技术
  • 精密工程
  • 电子技术
  • 医疗技术
  • 塑料技术
  • 弹性体技术
  • 研究和开发
  • 塑料技术

 

技术参数:

开关柜:
宽 580 mm、高 650 mm、深 600 mm

腔室:
∅ 267 mm、长 420 mm

腔室容积:
约 24 升

气源:
2 个由针型阀控制的气体通道

发生器:
40 kHz / 300 W, 无级可调
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

真空泵:
Leybold,型号 D8B ( 8 m3/h)

部件支架:
1 个产品支架

控制系统:
半自动,通过计时器控制工艺时间

选装件 / 配件