配有半自动控制系统的小型设备 Nano UHP:清洗、活化、蚀刻、涂层

出租设备 NANO UHP

具有 18 升腔室容积和半自动控制系统的小型设备 NANO UHP 主要应用于以下领域:

  • 小批量生产
  • 分析 (REM, TEM)
  • 电子技术
  • 医疗技术
  • 塑料技术
  • 弹性体技术
  • 研究和开发

UHP 表示超高纯度。该标志适用于我们的等离子设备的玻璃接收器。其可按照客户需要由硼硅玻璃或石英玻璃制成。仅以下设备具有 UHP 选装件:Femto、Pico 和 Nano

会在微波设备中使用玻璃腔室,和/或需要一个超纯表面的时候会使用玻璃腔室。普通不锈钢或铝制腔室和等离子设备中的所有金属一样,能够以最小量对处理产品进行溅射。 这对于大多数工艺而言并不重要,完全可以忽略不计。 从 UHP 设备中取出的铝制零部件均用 AL2O3 进行了涂层。该设备未配备不锈钢接收器,其适用于 铬,镍和铁 痕迹会产生干扰作用的应用用途。

技术参数:

开关柜:
宽 580 mm、高 650 mm、深 600 mm

腔室: 
∅ 240 mm、长 400 mm
(可选: 长 600 mm)
腔室开孔: ∅ 230 mm
材料:石英玻璃或硼硅玻璃
腔室的前壁和后壁:铝

腔室容积:
约 18 升

气源:
2 个由针型阀控制的气体通道

发生器:
40 kHz / 300 W, 无级可调
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)

真空泵:
Leybold,型号 D8B (8 m3/h)

部件支架:
1 个产品支架

控制系统:
半自动,通过计时器控制工艺时间

选装件 / 配件