等离子体发生器

为了确保等离子设备正常工作,需要一个发生器。 其频率为所需等离子应用用途的最佳频率,不得一概而言,必须视具体情况而定。 Diener electronic 公司多年一直都提供频率为 50 kHz 和 2.45 GHz 的等离子体发生器,现在还提供自行开发和制造的 13.56 MHz 的发生器,其功率达到 100 和 300 瓦特。

 

13.56 MHz 发生器的优点: 

  1. 可切换至 RIE 模式
  2. 均匀性比频率为 2.45 GHz 时更好
  3. 在功率相同的情况下,蚀刻速率比频率为 40 kHz 时更高
  4. 完全可以使用金属转鼓
  5. 可以构建电极 / 产品支架,但是电极平衡很复杂
  6. 适用于前端和后端半导体工艺
  7. 采用等离子体-聚合工艺时,沉积速率较高

这两种功率的主要应用领域为,将等离子体应用于活化、蚀刻、半导体(前段)、半导体(后端)和等离子体聚合。 既可以手动(手动匹配),也可以自动(自动匹配)进行阻抗调整,但是无论采用哪种方式,射频系统必须由发生器和匹配系统组成。

进行手动匹配的时候,无论是采用哪种工艺方法,都会对匹配系统进行调节,而且工艺流程期间必须间隙性的进行控制和调节,会自动调节电容器,并在发生改动的时候进行相应调节。

此外,还可能会显示正向和反向功率,通过门开关和真空安全开关进行安全关机,保持石英稳定频率符合 DIN EN 55011 标准和一个 PC 接口。

点击此处可了解更多关于各发生器的信息:

13.56 MHz 发生器 - 100 瓦特

13.56 MHz 发生器 - 300 瓦特

自动匹配,适用于 13.56 MHz

LFG-发生器 - 500 W (80 kHz)

LFG-发生器 - 1200 W (80 kHz)

LFG-发生器 - 3000 W (80 kHz)

LFG-发生器 - 5000 W (80 kHz)

MW-发生器 - 850 W (2.45 GHz)