二手等离子设备 Tetra 30,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统

二手等离子设备 Tetra 30 LF

技术参数

外壳
宽 600 mm、高 1600 mm、深 800 mm

腔室
矩形不锈钢件
配有铰链的门
(约宽 300 mm、高 290 mm、深 370 mm)

腔室容积
约 32 升

气源
4 个由针型阀控制的气体通道

发生器
1 件 (40 kHz)

控制系统
半自动型