二手等离子设备 Nano,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - Diener 等离子系统

二手等离子设备 Nano

技术参数

外壳
宽 600 mm、高 2000 mm、深 800 mm

腔室
石英玻璃 (UHP),配有盖子
(约 ∅ 240 mm、深 390 mm)

腔室容积
约 24 升

气源
2 个由针型阀控制的气体通道
12 个由质量流量控制器 (MFCs) 控制的气体通道

发生器
1 件 (2.45 GHz\0 - 1500 W)

控制系统
半自动型