二手等离子设备 Pico,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - Diener 等离子系统

二手等离子设备 Pico

技术参数

外壳
外壳

腔室
圆形不锈钢件
(约宽 150 mm、高 150 mm、深 325 mm)

腔室容积
约 5.74 升

气源
通过质量流量控制器 (MFCs) 控制

发生器
1 件 (150 W)

控制系统
PC (Windows XPe)