二手等离子设备 Pico,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - Diener 等离子系统

二手等离子设备 Pico

技术参数

外壳
宽 560 mm、高 330 mm、深 500 mm

腔室
硼硅玻璃
(约直径 130 mm x 长 300 mm)

腔室容积
约 5.74 升

气源
通过针型阀控制

发生器
1 件 (200 W)

控制系统
半自动型