真空腔室

通过真空泵抽空的气密性耐压容器,容器中残余气体的压力很小。残余气体可能是空气残余,这可能是因为无法避免的泄露率的原因,或者因为经计量阀所导入的气体具有各不相同的特性所造成的。很多在标准大气条件下为液态的物质,在极低的压力条件下会呈气态,并作为气体存在于真空腔室中。

可在真空腔室中进行各种不同的化学和物理反应,例如:CVDPVD 方法、蒸镀、溅射和所有低压等离子体工艺(⇒ 等离子体腔室)。

默认情况下,腔室(接收器)为不锈钢材质
对于专用设备 Bell Jar 而言,其等离子体腔室是一个玻璃钟罩

Vakuumkammer aus Aluminium

Wir, das Unternehmen Diener electronic GmbH + Co. KG stellen nun bereits seit 25 Jahren Vakuumsysteme her. In dieser Zeit konnten wir sehr viele Erfahrungen und Wissen auf dem Gebiet der Vakuumtechnik sammeln. Dieses geballte Wissen lassen wir in unsere heutigen Produkte einfließen um sie immer besser zu machen. Wir hinterfragen dabei auch Dinge, die man „schon immer so gemacht hat" wie zum Beispiel den klassischen Aufbau einer Vakuumkammer.

Herausgekommen ist ein einzigartiges, flexibles Kammersystem, welches auf Aluminium- Strangpressprofilen basiert.

Vakuumkammern aus Aluminium

Vakuumkammer aus Aluminium , Modell 7
Vakuumkammer aus Aluminium , Modell 7
Vakuumkammer Modell 6
Vakuumkammer aus Aluminium
Vakuumkammer Modell 6
Vakuumkammer aus Aluminium
Vakuumkammer Modell 6
Vakuumkammer aus Aluminium
Rezipient Modell 2
Aluminiumkammer Vorderseite
Rezipient Modell 2 mit geöffneter Tür
Aluminiumkammer mit Tür
Rückseite des Rezipient mit KF-Anschlüssen
Aluminiumkammer Rückseite
Vakuumkammer Typ 3
Aluminiumkammer Vorderseite
Vakuumkammer Typ 3 mit geöffneter Türe
Aluminiumkammer mit Tür
Rückseite der Vakuumkammer mit KF-Anschlüssen
Aluminiumkammer Rückseite
Rezipient Modell 4
Aluminiumkammer Vorderseite
Rezipient Modell 4 mit geöffneter Tür
Aluminiumkammer mit Tür
Rückseite des Rezipient mit KF-Anschlüsse
Aluminiumkammer Rückseite
Flache Vakuumkammer Typ 5
Aluminiumkammer Vorderseite
geöffneter Rezipient Modell 5
Aluminiumkammer mit Tür
lange flache Vakuumkammer in der Seitenansicht
Aluminiumkammer Seitenansicht
Vakuumkammer Modell 1
Aluminiumkammer Vorderseite
Vakuumkammer Modell 1 mit geöffneter Türe
Aluminiumkammer mit Tür
Rückseite der Vakuumkammer mit KF-Anschlüssen
Aluminiumkammer Rückseite