真空

技术真空绝对不是一种不含材料的空间,而是指压力较低条件下的气体容积,其特点是材料粒子在与其他粒子发生碰撞之前具有较大的自由行程。大气压条件下,直至材料粒子与其他粒子发生碰撞,其平均自由行程始终低于 1 µm,而在低于 10-3 mbar 的高真空条件下则要超过 10 cm,这则意味着,如果真空腔室压力在该范围内,则很多粒子不会受到碰撞。

借此,低压等离子体的活性粒子可填充接收器的总容积,而且不会因碰撞导致发生中和或者重组现象。

低压等离子体中的平均自由行程很大,故此等离子体能够填充等离子体腔室的总容积。
默认情况下,腔室(接收器)为不锈钢材质