超高纯度 (UHP)

UHP 表示超高纯度。该名称适用于我们等离子设备的玻璃接收器,其可根据客户需求由硼硅玻璃或石英玻璃制成。仅以下设备具有 UHP 选装件: Femto、Pico 和 Nano。会在微波设备中使用玻璃腔室,和/或需要一个超纯表面的时候会使用玻璃腔室。普通不锈钢或铝制腔室和等离子设备中的所有金属一样,能够以最小量对处理产品进行溅射。这对于大多数工艺而言并不重要,完全可以忽略不计。从 UHP 设备中取出的铝制零部件均用 AL2O3 进行了涂层。

等离子设备 Bell Jar 的接收器是由 UHP 石英玻璃制成的