过蚀刻

通过干式蚀刻可以显著改善 粘合、印刷或喷涂的凝结强度。某些情况下,蚀刻的目的在于进行活化,特别是 PTFE 的蚀刻,其用于将表面的氟基团除去。大多数情况下,可以通过增加润湿型表面的表面积来提高粘结强度。

需通过试验来确定,采用哪些参数,特别是多长的处理时间才能够取得最佳的处理结果。但是,很多基材则完全不是这样,其接受处理的时间越长,取得的处理结果就越好。如果等离子处理时间越长,处理密度越是密集,基材便会逐渐分解在其表面上。这种情况被称为过蚀刻。

“根蚀刻”这一术语描述的完全是另外一种过程,其完全和过蚀刻相反。

等离子化学干法蚀刻的过程