涡轮分子泵

涡轮分子泵,有时候简称为涡轮泵,这是一种超高真空泵,用于低至 10-10 mbar 的极低最终压力)。设备中实际可实现的压力取决于接收器中气体成分的泄漏率和析出量。涡轮分子泵由一系列连续排列的定子和转子所组成,相当于一个喷气发动机。涡轮分子泵的转速为几个 10000 U/min。由于涡轮分子泵的抽气能力会随压力增加而有所下降,故此其仅可与抽气泵一同运行,例如:旋片泵。如果需要极低的压力,而该压力是其他类型的泵(旋片泵、鲁茨泵)所无法实现的,则可以在等离子设备中使用涡轮分子泵。

使用涡轮分子泵可以在最佳条件(设备的最佳密封性,无任何析气样品)下达到 10 -10 mbar 的压力