硅是一种最重要的元素,但并非因微电子行业的发达而导致。

硅占地球总重量的 15%,但在自然界中仅作为化合物,特别是作为矿物化合物出现,并主要以二氧化硅 SiO2的形式出现。这种矿物是砂岩、 砂和花岗岩的主要成分。纯 SiO2 矿物被称为石英。其可以纯态形式作为石英玻璃进行加工处理。其通常是所有玻璃的主要成分。

硅的原子序数是 14,并属于元素周期表中的碳族。其具有 4 个价电子,也就是能够像那样以相似的方式形成化合和晶格。

硅的元素形态是一种半金属或半导体,并具有最重要的商业应用用途。这样就提供了形成大型无干扰单晶的机会,这是十分重要的。

硅加工的很多方法是通过等离子体技术来实现的,其中通过蚀刻进行结构化尤为重要。很多氟化合物可用作蚀刻气体,例如:六氟化硫 SF6四氟甲烷 CF4。此外,使用光刻法还可以通过等离子体聚合来涂覆导体电路或者保护涂层。

离子刻蚀
通过反应性离子蚀刻,能够以较高的蚀刻速率进行各向异性蚀刻
晶片
涂覆有电子电路的半导体晶片是一种材质为大圆柱形硅单晶的薄型部件。