自偏置

一种电容性去耦(通过电容器与发生器断开)的高频电极,其以 MHz 范围内的高频率运行,其在低压等离子体中可带上负电。较重的正离子太不活跃,其不会跟随交变场的高频率,但是较轻的电子则可以顺利做到这一点。这样,工作电极会逐渐带上负电荷,因为电子由于电容性去耦的原因无法流散。这样便可以构成偏置电压,正离子借助偏置电压在带负电的电极上加速。如果该带负电的电极上叠加了基材,则会通过离子对其进行轰击。该效应用于离子蚀刻(物理蚀刻)。

离子蚀刻时,通过自偏置使工作电极带负电。