鲁茨泵

鲁茨泵是一种用于生成高真空的泵,按照其工作方式也可将其称为辊子柱塞泵(鲁茨真空泵)。与旋片泵不同,其主要优点在于可无油运行工作。故此,其也适用于输送腐蚀性介质。当然,鲁茨泵无法有效的针对大气压工作,故此其同样需要预真空泵,录入:用于在出口侧产生低真空的旋片泵。双级鲁茨泵则无需预真空泵,此外还能够产生达到高真空压力范围 (10-4 bar) 的压力。

用鲁茨泵可使真空压力达到 10-3 mbar