卷到卷

在容积有限的等离子体腔室内只能够处理尺寸可被腔室所容纳的物体。诸如纺织材料之类的薄片状材料也可作为准连续材料进行处理,其前提条件是使用了卷到卷系统。

膜
诸如膜或纺织材料之类的片状连续材料可通过卷到卷系统在低压等离子体中进行处理。