基团

在进行滑移层涂层的时候,基团会自行结合形成聚合物

基团出现在分子型工艺气体中,但也会出现在暴露在等离子体中的基材上。原因特别在于等离子体紫外线辐射的电离效应。紫外线辐射裂解分子键,将其裂解为单个原子或分子的一部分。分开的两部分现在便拥有了一个未占用的键,其会尽快被填满。故此,其具有较高的反应性,因为其会立即与其影响区域中的下一个粒子发生反应,以调整空白键。

此类已分开并含空白键的分子部分被称为基团,空白键被称为自由基位置

基团发生反应和互相链接会产生聚合物,工艺气体和基材的基团发生反应会产生新的分子,这些分子转化为气相,并填充基材上相应的缺失位置。化学性等离子蚀刻等离子清洗便是这样发挥作用的。