工艺气体

工艺气体是用于激发等离子体气体或气体混合物。根据工艺气体的特性,可获得各不相同的等离子体作用。因此,各种各样的工艺气体均得到了使用。

最重要的工艺气体是: 氧气氢气四氟甲烷氩气、氦气、六氟化硫、空气、水蒸气,...

等离子体的颜色和强度标志着压力和纯度