前体物

(德语: 前体物)化学反应的原始物质。等离子体技术中,在蒸发器内转换为气相的气体或液态物质。等离子体腔室中所形成的一种工艺气体,其通过等离子体激发、电离或者分裂为基团,并借此具有极强的反应性。前体物借此作为用于等离子体聚合的蚀刻气体或者原始物质,并处于活性状态。

 

 

蒸发器
将前体物通入等离子体腔室内之前,在蒸发瓶中将其转化为气相