等离子系统

用于进行等离子处理的整套设备

其总包含:

  1. 一个等离子体发生器
  2. 一个等离子发生器
  3. 供电的导线和至等离子发生器的工艺气体进给系统
  4. 有机一个电气控制系统

低压等离子设备的特点

 

等离子体发生器是一种高频发生器。

作为等离子系统的其他部件,还需要一个耐压型等离子体腔室和一个真空系统。

根据待进行的等离子工艺流程,可使用不同的等离子发生器。由微波辐射激发的高频电极(平板电极或管状电极)或磁控管。

可选择使用各种其他部件:

  • 压力传感器
  • 调节阀
  • 排气过滤器
  • 电气屏蔽(法拉第笼)
  • 聚合物蒸发器
  • 产品支架
低压等离子设备的基本结构

常压等离子体的特点

 

等离子体发生器是一种高电压发生器

等离子激发时,两个电晕电极位于等离子发生器中,两个电极之间通过高电压点燃气体放电。

在高压条件下馈送工艺气体

常压等离子设备的基本结构