等离子体腔室

等离子体腔室或者接收器被称为腔室,其内部是低压环境下的工艺气体。该腔室被设计为压力容器。其由同一种材料制成,该材料不会因所使用的工艺气体而受到腐蚀,通常采用不锈钢。对于某些工艺流程而言,必须使用高纯度石英玻璃材质的接收器。

默认情况下,腔室(接收器)为不锈钢材质
研究设备 Bell Jar 是一种等离子体腔室,其为高纯度石英玻璃材质的钟罩