等离子扩散

借助等离子体通过非金属原子在高温条件下扩散进入金属表面从而进行精加工的工艺流程的总称。最重要的示例包括:等离子渗氮等离子氮碳共渗等离子渗碳等离子碳氮共渗。表面上形成的氮化物相和碳化物相仅几微米厚,但却比未接受处理的金属硬很多,其下方的扩散层也仅 100 多微米厚,但却比母材要硬很多。