低压等离子体

技术等离子体可在大气压下或稀薄气体中激发。在大气压下激发需通过气体放电来实现。由于离子在大气压下(约 10-7)具有自由行程,所以等离子体的膨胀限于具有较高场强的区域。

低压等离子体是在两个电极之间通过电磁高频场产生的。由于激发粒子具有较大的自由行程(10-3 mbar 时为约 10 cm),故此等离子体的膨胀会超出高频场的作用范围,并还会涵盖接收器的整个体积。

低压等离子体基本可以在任何气体中被激发。包括大气压下呈液态的物质,其可在低压下呈现气态,并可被用作工艺气体。其会在接收器外部进行蒸发,并以气形通入接收器中。通过大量的适用工艺气体,可相应的实现各种等离子工艺流程

 

 

低压等离子体
低压等离子体均匀发光表示空间延展