平均自由行程

气体分子在给定温度和压力的情况下,与其他气体分子发生两次碰撞之间那段时间内所历经的平均行程。这对于生成等离子体而言是非常重要的: 如果压力过高(过小的自由行程),则电子离子无法建立电离碰撞所需的速度,如果压力过低(过大的自由行程),则无法进行足够多的电离碰撞,以直接获得等离子体。此外,平均自由行程还对蚀刻方法的各向同性有着很大的影响:压力越高,自由行程就越小,材料剥蚀就越具有各向同性(无方向性)。

在大气压 (1000 mbar) 条件下,粒子两次碰撞之间的平均自由行程为大约 10-7 m,在达到高真空极限 (10-3 mbar) 时为 10 cm。