微喷砂处理

从基材表面碰撞出的离子虽然未在该处发生化学反应,但是可以在该处产生物理作用,这种物理作用是通过其劈开表面的原子分子来实现的。其可以是表面涂层或脏污或基材本身的一部分。这种作用就如同是使用原子尺寸的颗粒进行喷砂一样。

 

 

物理蚀刻
使用蚀刻气体氩气,可实现较高各向异性,但是无法实现选择性的蚀刻效果,其作用和微喷砂处理是一样的,但是不会导致发生化学反应。