料架

在均匀的低压等离子体中,在批量生产期间可同时在一个等离子体腔室中对大批量工件进行处理。通常会为此使用转鼓或者料架。
料架是一种多层支架,其中分布放置了很多小零件。通过料架便可以最佳利用腔室容积,并同时按照规定对各个待处理工件进行定位。如果在工艺流程期间工件意外的发生互相触碰,或者如果工件具有极高的机械敏感性,则首选使用转鼓方法的料架。料架广泛应用于诸如 IC导线架之类微电子领域元件的等离子清洗等离子蚀刻等离子涂层