设备组件

 

低压等离子设备的组件:

接收器或者等离子体腔室

等离子体腔室
Tetra 5200 设备尺寸为 5.2 m³ 的接收器

高频发生器

高频发生器
用于激发高频的发生器具有 kHz、MHz 和 GHz 范围。

真空泵

Tetra 12600
对于诸如 Tetra 12600 之类的大型等离子设备,需使用多台高性能泵进行抽空。
Tetra 2800
对于诸如 Tetra 2800 之类的大型设备,通过多台高频发生器激发等离子,这些发生器与 PC 控制系统集成在同一个供应装置中。

常压等离子设备的组件

常压等离子体
Plasmabeam PC 常压等离子设备,配有高电压发生器、PC 控制系统、等离子体发生器和供应软管