等离子体的颜色

能量活跃激发态的原子离子或者分子向下能级跃发出光,从而形成等离子体的颜色因为每种气体中的能级均具有不同的能量转换,每种工艺气体显示了不同特点的发光,并因此产生不同特征的颜色。经常在等离子工艺流程中使用的气体的典型颜色如下所述:

CF4:蓝色
SF6:淡蓝色
SiF4:浅蓝色
SiCl4:浅蓝色
Cl2:浅绿色
CCl4:浅绿色
H2:粉红色
O2:淡黄色
N2:红色至黄色
Br2:红色
He:红色至紫色
Ne:砖红色
Ar:暗红色

等离子体的颜色不仅仅可用于识别工艺气体,还可以用于定性评估工艺气体是否不含污染物。

氖气等离子体
等离子体的颜色表明了各种工艺气体的特征。与蚀刻产物混合会导致颜色发生变化。