电极

电极是一种带电的导电部件。电极和带不同电荷的电导体(通常是另一个电极)之间会形成电场。

通过这种电场,还可以激发技术型等离子体,但这还是具有区别的:

  • 高频电极会产生一定的局部场强,从而可以通过气体放电产生等离子体,就如同产生电晕或者常压等离子体一样。
  • 高频电极用于通过高频交变场激发等离子体。如果激发频率介于千赫兹吉赫兹之间,则可在场强较低的情况下载真空中产生等离子体。借此,还可以大批量产生均匀的等离子体。
平面电极
离子加速至带负电荷的平面电极,借此形成物理蚀刻工艺。