英语为“干”。
结合等离子体技术,该术语是指进行干燥这一表面工艺方法,如果不采用这种工艺方法,则需要使用湿法化学(酸、碱、溶液、溶剂)。

Dryasher(干式灰化器)、drycleaner(干式清洗机)、dryetcher(干式蚀刻机)以及干式炉,这些是通过等离子体技术对材料进行干式修改的设备名称。

干式工艺具有以下优点:可以对湿法化学处理所产生的所有有害健康和环境的化学物质进行储存、处理和弃置处理,这样在化学处理之后便不需要对化学物质进行清除和干燥了。

虽然干法化学方法的处理速度通常比湿法化学方法低很多,特别是蚀刻速率,但是另一方面而言,其能够实现精确控制,从而可以局部调整原子层的大小分布。