旋片泵

这是真空技术中最常用的泵类型,在等离子体技术领域中还可以使用机械式油润滑型旋片泵。使用这种旋片泵,大气压可到达 10-3 mbar。如果需生成超高真空,则大多使用旋片泵来生成预真空。

真空泵
用旋片泵可使真空压力达到 10-3