解聚

对于塑料而言,通过升高温度可以实现这种Polymerisation聚合的逆向过程(热降解)。发生分解时,表面的各聚合物要么分解为其原始单体或者其他降解产物。

包括等离子清洗蚀刻时,也会解聚为单体状态。分解产物与工艺气体活性粒子反应生成挥发型分子