化学蚀刻

通过化学反应对基材进行材料剥蚀。

湿法化学蚀刻是通过液态蚀刻液(酸、碱、溶剂)与基材分子反应来完成的。

干法化学蚀刻是在等离子体中通过活性粒子(激发的原子基团离子)与基材发生反应来完成的。工艺气体必须与基材匹配(选择性蚀刻),蚀刻是无方向性的(各向同性

所产生的挥发性蚀刻产物通过泵吸进行清除。

干法化学蚀刻
干法化学蚀刻过程具有各向同性和选择性。