筒状等离子蚀刻机

各向异性等离子蚀刻时具有较高的蚀刻速率,特别是具有高频激发功能的筒状反应器,蚀刻速率可达到 MHz 范围 。故此,主要或者专门用于等离子蚀刻等离子设备首选设计为筒状反应器。例如:光刻胶灰化时使用筒状等离子蚀刻机。

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筒状反应器
筒状反应器是一种形成圆柱体的电极。故此,其也被称为通道式或者管式反应器