各向异性

各向异性意味着各空间方向有所不同。不同于各向同性(所有空间方向均相同)。
如果材料各空间方向均有所不同,则其具有各向异性特性,例如:刚性或者电导率。

等离子效果可以是经调整的各向同性或各向异性。特别是对于微结构的蚀刻Ätzen,需力求具有较强的各向异性,也就是说:较强的蚀刻速度首选方向。
特别是物理蚀刻方法(离子蚀刻RIE) 具有各向异性作用。

各向异性
在用蚀刻掩膜对结构进行蚀刻时,会力求一种各向异性的蚀刻效果。