透射电子显微镜 (TEM)

(透射电子显微镜)这是一种最古老的电子显微镜方法,其用于在薄层系统中进行结构成像。与扫描电子显微镜相比,其可以透射含高能 电子 的样品材料。为此,必须将样品减薄至较小的厚度。电子束在经过最薄层时,由于电子向样品原子核的散射将会遭受强度损失。由此,其笔直的光路便会发生小角度偏转。对于图像结构而言,仅使用不扩散即可穿透样品的电子。图像对比度通过透射电子束的散射损失强度而产生。散射损失取决于样品的厚度、密度和结晶缺陷。

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