Tetra 120 LF-PC
| 内联设备
技术数据：
- 开关柜： 宽 600 mm、高 2150 mm、深 1000 mm
- 腔室： 宽 1200 mm、高 150 mm、深 700 mm
- 腔室容积： 约120 升
- 气体供给： 4 个通过 MFC 控制的气体通道
- 发生器： 2 个（各为 40 kHz）（可选：13.56 MHz 或 2.45 GHz）
- 控制系统： 配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
- 自动化： 本设备具有一个自动门
Tetra 185 PCB 除胶机
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜：宽 600 mm、高 2100 mm、深 1000 mm
- 腔室：宽 400 mm、高 665 mm、深 700 mm
- 腔室容积：约 185 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 4 个气体通道
- 发生器：1 个 (80 kHz)
- 控制系统：Full PC 控制系统
特性：
- 不同材料除胶渣（钻孔壁清洗）
- 表面清洗
- 金属表面活化
- 7 个插槽，适用于同时处理 7 个尺寸最大为 460 x 610 mm 的板材或者 14 个尺寸最大为 230 x 305 mm 的印刷电路板
Tetra 210 LF-PC
| 内联设备
技术数据：
- 开关柜：宽 1560 mm、高 2350 mm、深 1860 mm
- 腔室：宽 6000 mm、高 600 mm、深 600 mm
- 腔室容积：约 210 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 2 个气体通道
- 发生器：1 个脉冲发生器 1 个 (40 kHz)（可选：13.56 MHz 或 2.45 GHz）
- 控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
Tetra 216 LF-PC
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜：宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
- 腔室：宽 600 mm、高 600 mm、深 620 mm
- 腔室容积：约 216 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 5 个气体通道
- 发生器：1 个（各为 80 kHz）
- 控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
Tetra 330 LF-PC
| 内联设备
技术数据：
- 开关柜：宽 1200 mm、高 1800 mm、深 1800 mm
- 腔室：宽 530 mm、高 700 mm、深 900 mm
- 腔室容积：约 330 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 4 个气体通道
- 发生器：1 个（各为 80 kHz）
- 控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
Tetra 375 卷对卷
| 特殊设备
技术数据
- 配有开关柜的外壳，宽 3150mm、高 2200mm、深 1800mm
- 腔室：宽 1500mm、高 1000mm、深 250mm
- 气体：3 X 气体 1 X 臭氧
- 发生器 5000
- 控制系统：PC 控制系统
- 卷对卷设备用于进行单独加工的两个独立的卷材。
Tetra 575 LF-PC
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜： 宽 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm
- 腔室： 宽 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm
- 腔室容积： 约575 升
- 气体供给： 2 个通过 MFC 控制的气体通道
- 发生器： 1 个 (40 kHz)（可选：13.56 MHz 或 2.45 GHz）
- 部件支架： 22 层/（个）产品支架（可变）
- 控制系统： PC 控制系统 (Windows)
Tetra 800 LF-PC
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜：宽 600 mm、高 1800 mm、深 800 mm
- 腔室：宽 1250 mm、高 550 mm、深 1120 mm
- 腔室容积：约 800 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 3 个气体通道
- 发生器：1 个 (40 kHz)
- 控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
Tetra 810 LF-PC
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜：宽 1200 mm、高 2200 mm、深 2000 mm
- 腔室：宽 900 mm、高 1100 mm、深 900 mm
- 腔室容积：约 810 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 2 个气体通道
- 发生器：1 个 (80 kHz)
- 控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
Tetra-1200-LF-PC
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜：宽 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm
- 腔室：宽 600、高 1000 mm、深 2000 mm
- 腔室容积：约 1200 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 2 个气体通道
- 发生器：3 个（各为 40 kHz）
- 控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
Tetra 2800-LF-PC
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜：宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
- 腔室：∅ 1200 mm，深 2500 mm
- 腔室容积：约 2800 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 3 个气体通道
- 发生器：1 个 (40 kHz)（可选：13.56 MHz 或 2.45 GHz）
- 控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
Tetra 3600
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜/腔室：长 450 mm、高 210 mm、宽 170 mm
- 腔室容积：约 3600 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 2 个气体通道
- 发生器：3 个 (80 kHz) (5KW) 氧气发生器
- 控制系统：Full PC 控制系统 (Windows)- 旋转臂
- 抽屉系统：可伸缩产品支架
Tetra 8000-LF-PC
| 特殊设备
技术数据：
- 开关柜：宽 2000 mm、高 1800 mm、深 1000 mm
- 腔室：宽 1700 mm、深 2800 mm、高 1700 mm
- 腔室容积：约 8000 升
- 气体供给：通过 MFC 控制的 2 个气体通道
- 发生器：4 个（各为 40 kHz）（可选：13.56 MHz 或 2.45 GHz）
- 控制系统：配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
Bel Jar 35
| 特殊设备
Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备，其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发、溅射、电子束蒸发、用于 SEM（扫描电子显微镜）样品制备的金属涂覆，也适用于传统的等离子工艺流程。
技术数据：
- 外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
- 腔室容积：约 35 升
- 供电电源：230 V / 16 A
- 气体供给：3 个质量流量控制器 (MFC)
- 真空腔室： 硼硅玻璃材质的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm
- 溅射源： 1 个溅射源 2" - 3" + 挡板（针对反应性过程，可选配排烟管和进气口）
- 基材支架： ∅ 140 mm（可选择旋转型、基材加热装置、基材冷却装置）， 可切换为等离子预处理的电极（清洗、活化、蚀刻）
- 控制系统：PC-控制系统 (Microsoft Windows XPe)
- 压力测量装置： Pirani
- 真空泵： 不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）
- 其他选项： 备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项
发生器频率：
- 40 kHz：功率 0 - 500 W
- 13.56 MHz：功率 0 - 300 W
- 直流偏置电源或单极性脉冲
- 功率最大为 300 W 电压最大为 600 V DC
- 发生器为 0 - 100% 无级可调型
